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高真空150分子泵組合,有分子泵接口和機(jī)械泵家口,一臺(tái)泵組兩用,空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa
精密氣震臺(tái),面包板結(jié)構(gòu)為蜂窩內(nèi)核三層夾心結(jié)構(gòu),重量輕,強(qiáng)度高,具有一定的減震作用
150分子泵套裝機(jī)組,前級(jí)采用雙極四旋片真空泵,2.2L/S。分子泵采用150分子泵,空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa